【導讀】MEMS是以微電子技術(shù)為基礎，采用硅微加工技術(shù)、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術(shù)制作的，關(guān)鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內的微傳感器、微執行器和微系統的總稱(chēng)。
MEMS是以微電子技術(shù)為基礎，采用硅微加工技術(shù)、光刻鑄造成型(LIGA)和精密機械加工等多種微加工技術(shù)制作的，關(guān)鍵尺寸在亞微米至亞毫米范圍內的微傳感器、微執行器和微系統的總稱(chēng)。其中MEMS動(dòng)態(tài)測試技術(shù)，因其能夠測試MEMS三維運動(dòng)，分析MEMS動(dòng)態(tài)特性、材料特性以及機械力學(xué)參數等關(guān)鍵數據，已成為MEMS測試技術(shù)的重要組成部分。而研究如何在MEMS運動(dòng)過(guò)程中記錄瞬間運動(dòng)狀態(tài)，并恢復MEMS表面的離面運動(dòng)歷程，則是MEMS動(dòng)態(tài)測試技術(shù)實(shí)現離面運動(dòng)測量的關(guān)鍵。
MEMS模型
MEMS離面運動(dòng)測試系統首先通過(guò)頻閃同步信號編輯和控制軟件命令任意波形發(fā)生器產(chǎn)生激勵波形、頻閃照明信號和控制信號，激勵信號通過(guò)同軸電纜經(jīng)高壓放大器驅動(dòng)MEMS運動(dòng)，頻閃照明信號經(jīng)頻閃驅動(dòng)電路實(shí)現LED的頻閃照明，控制信號則負責命令和協(xié)調CCD攝像機、圖像采集卡和納米定位儀的工作; CCD攝像機捕捉到的物體運動(dòng)瞬間圖像由圖像采集卡采集并存儲在計算機指定的存儲區內,供后續的數據處理使用。在獲得完整的物體運動(dòng)圖像之后,系統轉入數據處理階段,主要由圖像數據后續處理軟件完成,最終將得到諸如物體表面某點(diǎn)運動(dòng)軌跡曲線(xiàn)或某個(gè)局部區域的運動(dòng)狀態(tài)圖等實(shí)驗結果。
MEMS離面運動(dòng)測試系統功能框圖
AigtekATA-4000系列高壓放大器在MEMS測試領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用，其中常被應用在相顯微干涉技術(shù)，微型傳感器技術(shù)等。ATA-4000系列高壓放大器最大輸出功率452Wp ，最大輸出電壓310Vp-p（±155Vp） ，最大輸出電流4Arms ，帶寬高達DC~3MHz。
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