【導讀】比利時(shí)微電子研究中心（imec）的研究人員，推出為超音波成像應用所開(kāi)發(fā)的創(chuàng )新第二代壓電式微機械超音波換能器（PMUT）數組。該數組具備一層氮化鋁鈧（AlScN）壓電層，在水中實(shí)現優(yōu)異的影像擷取，波束控制深度達到10cm。此次取得的技術(shù)突破為曲面感測、革命性醫療成像及監測這類(lèi)復雜的超音波應用提供了發(fā)展條件。近期imec攜手其衍生新創(chuàng )Pulsify Medical，一同推動(dòng)心臟監測技術(shù)朝向非侵入式且無(wú)需醫師操作的方向發(fā)展。
—— 大面積感測超音波數組的感測與應用
比利時(shí)微電子研究中心（imec）的研究人員，推出為超音波成像應用所開(kāi)發(fā)的創(chuàng )新第二代壓電式微機械超音波換能器（PMUT）數組。該數組具備一層氮化鋁鈧（AlScN）壓電層，在水中實(shí)現優(yōu)異的影像擷取，波束控制深度達到10cm。此次取得的技術(shù)突破為曲面感測、革命性醫療成像及監測這類(lèi)復雜的超音波應用提供了發(fā)展條件。近期imec攜手其衍生新創(chuàng )Pulsify Medical，一同推動(dòng)心臟監測技術(shù)朝向非侵入式且無(wú)需醫師操作的方向發(fā)展。
超音波成像的技術(shù)進(jìn)展
在非侵入性的情況下，透過(guò)超音波成像來(lái)呈現腹中胎兒影像的聲波應用廣為人知。透過(guò)發(fā)射高頻聲波到體內，并將其反射波轉換成電訊號，就能建立實(shí)時(shí)的影像。除了醫療成像，這些聲波也能應用在生物辨識、（汽車(chē)或虛擬現實(shí)應用的）手勢辨識等其它領(lǐng)域。
超音波換能器目前普遍在半導體廠(chǎng)內制造。針對感測覆蓋面積較大的高分辨率醫療成像應用，大型傳感器是必需，但這對硅基傳感器來(lái)說(shuō)極具挑戰，因為其單位面積成本（cost per mm2）高昂。
大面積感測成像：壓電式微機械超音波換能器（PMUT）
2021年，imec推出了采用玻璃基板且與平面顯示器（FPD）制程兼容的壓電式微機械超音波換能器（PMUT）數組。這款超音波傳感器可以不用晶圓制程，而是與平面顯示器（FPD）制程兼容，使得符合成本效益的大型組件制造成為可能。
更準確來(lái)說(shuō)，這些換能器數組能與現有的薄膜晶體管背板兼容，而且這種換能器技術(shù)不會(huì )受到晶圓尺寸的限制，所以才有可能制造出大規模數組。盡管如此，以往的復合壓電材料性能尚不足以滿(mǎn)足高性能醫療成像的需求。
圖一 : 第二代壓電式微機械超音波換能器（PMUT）。
現在imec展示了第二代的壓電式微機械超音波換能器（PMUT）數組，采用另一種壓電材料：氮化鋁鈧（AlScN）。
imec聲學(xué)傳感器研發(fā)計劃Listen2Future的計劃主持人Epimitheas Georgitzikis解釋?zhuān)骸敢驗槲覀冎安捎貌ＡЩ鍋?lái)代替結晶硅，就能排除組件面積的限制。與前一代相比，這次開(kāi)發(fā)的下一代壓電式微機械超音波轉換器（PMUT）還展現了10倍的聲壓?！?另也顯示其影像擷取距離高達10cm，水中壓力量測范圍落在7 kPa以上，很適合用于高性能超音波成像。
圖二 : 壓電式微機械超音波換能器（PMUT）制程的截面示意圖：（a）選配薄膜晶體管（TFT）和／或彈性層的背板；（b）包含金屬—絕緣體—金屬（MIM）堆棧的前板；（c）把前板接合至背板，并移除前板；（d）金屬穿孔導線(xiàn)，以建立前板與背板之間的電性連接。
圖三 : 壓電式微機械超音波換能器（PMUT）的組件特征 附圖顯示本研究所制造的壓電式微機械超音波換能器（PMUT）顯微影像及其腔面的截面圖。
靈活應用超音波成像的開(kāi)發(fā)前景
「下階段發(fā)展包含精進(jìn)這項技術(shù)，以及將這款組件調整到不同的特定頻率。這么一來(lái)，這項技術(shù)將能把大型超音波數組用于像是人體傳感器或是汽車(chē)儀表板的曲面感測，推動(dòng)超音波功能與大型非平面對象的整合，所以創(chuàng )新超音波應用的大好契機將會(huì )浮現?！?/p>
imec與Pulsify Medical合作，建立了一款用于心臟監測的概念驗證性硬性醫療貼布，推動(dòng)非侵入性的院外長(cháng)期監測應用，且無(wú)須醫師介入。聲學(xué)傳感器研究計劃Listen2Future為歐盟資助的研究計劃部分，目前仍在進(jìn)一步開(kāi)發(fā)彈性的超音波貼布。
本研究結果詳述于〈一款與平面顯示器制程兼容的超音波平臺〉（A flat-panel-display compatible ultrasound platform）一文中，并發(fā)表于國際信息顯示學(xué)會(huì )（The Society for Information Display）的2023 年顯示周（Display Week 2023） 。聲學(xué)傳感器研發(fā)計劃Listen2Future是一項歐盟資助的研究計劃，進(jìn)行壓電聲學(xué)換能器的研發(fā)和基準檢驗，擁有橫跨七國的27個(gè)研究伙伴，由英飛凌科技（Infineon Technology Austria AG）負責協(xié)調溝通。
（本文作者Erwin Hijzen與Epimitheas Georgitzikis為imec微機電超音波研究計劃負責人）
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