【導讀】MEMS傳感器即微機電系統（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，具有體積小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特點(diǎn)。
MEMS傳感器即微機電系統（Micro-electroMechanicalSystems），是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，具有體積小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特點(diǎn)。歐姆龍MEMS流量傳感器，采用其獨創(chuàng )的高精度加工技術(shù)，將流量傳感器核心器件封裝在尺寸僅為1.5*1.55*0.4mm的MEMS芯片里面。這種超精細的MEMS傳感器，不但能檢測1毫米/秒的氣體流速變化，還能高精度地實(shí)現大批量生產(chǎn)。
流量傳感器內部結構
這種傳感器芯片采用使用熱線(xiàn)的質(zhì)量流量檢測方式。其芯片中央具有加熱器，上游側的熱電堆（A）及下游側熱電堆（B）配置在加熱器的兩側，熱電堆附近配置有基座測溫體，它們均是采用半導體工藝制造的。加熱器和熱電堆列組的底部形成空腔，使得熱電堆可高效檢測加熱器的熱量。
流量傳感器的檢測原理
通過(guò)給MEMS芯片加恒定電流，使芯片中央的加熱器產(chǎn)生熱量。沒(méi)有風(fēng)通過(guò)時(shí)，加熱器上游熱電堆和下游熱電堆由于熱平衡的關(guān)系，兩者對應的熱電動(dòng)勢電壓相等，即Vu=Vd。當有氣體流動(dòng)時(shí)，熱源隨氣流方向向下游轉移，此時(shí)下游熱電堆的電動(dòng)勢變大，即Vd＞Vu。兩個(gè)熱電堆的輸出差大致與通過(guò)傳感器表面的氣體質(zhì)量流量的平方根成正比。輸出靈敏度和質(zhì)量流量取決于氣體的組成比。微小的信號可以通過(guò)放大電路進(jìn)行放大，再以電子方式檢測氣體流量。風(fēng)量傳感器經(jīng)調整后輸出的電壓與質(zhì)量流量為25°C、101.3kPa時(shí)的流速相當。
流量傳感器的應用
堵塞檢測---投影儀、PC機、服務(wù)器
燃燒控制---燃料電池、熱水器、鍋爐
風(fēng)量檢測---管道、氣流測量、空調
加料速率控制---麻醉儀、制氧機
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