【導讀】全球半導體巨頭意法半導體（ST）宣布擴大新加坡"廠(chǎng)內實(shí)驗室"（Lab-in-Fab）項目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛(ài)發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開(kāi)發(fā)。
● 新一期廠(chǎng)內實(shí)驗室合作項目包括與新加坡科技研究局屬下材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國立大學(xué) (NUS)的合作項目
● 此為新加坡半導體行業(yè)迄今為止最大的公私研發(fā)合作項目之一
● 專(zhuān)注于推進(jìn)壓電 微電機系統（MEMS） 技術(shù)產(chǎn)品在個(gè)人電子產(chǎn)品、醫療設備等領(lǐng)域的應用
2025年5月29日，中國--全球半導體巨頭意法半導體（ST）宣布擴大新加坡"廠(chǎng)內實(shí)驗室"（Lab-in-Fab）項目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛(ài)發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開(kāi)發(fā)。
該計劃將有助于推進(jìn)環(huán)保型無(wú)鉛壓電材料的應用，為傳感器和執行器實(shí)現高成本效益和微型化賦能。高等院校、初創(chuàng )企業(yè)、中小企業(yè)和跨國公司能夠利用整套生產(chǎn)線(xiàn)加快新型壓電微機電系統器件的市場(chǎng)轉化。生產(chǎn)的樣片預計將用于包括 3D投影和成像的壓電微機械超聲換能器，個(gè)人電子產(chǎn)品的微型揚聲器，以及用于智能手機攝像頭模塊的自動(dòng)對焦裝置。
意法半導體模擬、功率分立器件、MEMS 和傳感器產(chǎn)品部門(mén)（APMS）副總裁及中央研發(fā)總經(jīng)理 Anton Hofmeister表示：“我們很高興能夠推進(jìn)這項合作計劃，歡迎新加坡科技研究局材料研究與工程研究所和新加坡國立大學(xué)加入廠(chǎng)內實(shí)驗室計劃2.0的新項目研發(fā)。這項計劃將推動(dòng)壓電 MEMS 技術(shù)的創(chuàng )新，并支持下一代器件的市場(chǎng)轉化?！?/p>
新加坡科技研究局創(chuàng )新與企業(yè)副局長(cháng)Yeo Yee Chia教授表示：“我們正在深化和拓展與重要且具備創(chuàng )新材料、工具和工藝模塊的供應商，以及技術(shù)開(kāi)發(fā)、設計和制造企業(yè)的合作關(guān)系，并在研發(fā)成果的市場(chǎng)轉化方式上探索創(chuàng )新。這種合作方式將加快下一代采用環(huán)保無(wú)鉛材料的節能壓電MEMS器件的市場(chǎng)轉化，同時(shí)鞏固新加坡在全球半導體價(jià)值鏈中的地位?！?/p>
愛(ài)發(fā)科設備業(yè)務(wù)總部先進(jìn)電子設備部執行官兼總經(jīng)理 Harunori Iwai 表示：“我們很榮幸能夠參與這一開(kāi)創(chuàng )性的合作計劃，為壓電 MEMS 行業(yè)貢獻我們在制造技術(shù)解決方案方面積累的知識經(jīng)驗?！?/p>
廠(chǎng)內實(shí)驗室計劃早已于 2020 年落地，立項的目的是開(kāi)發(fā)一種通過(guò)物理氣相沉積 (PVD)方式生長(cháng)鋯鈦酸鉛 (PZT)薄膜的方法。與傳統的體壓電技術(shù)相比，物理氣相沉積方法顯著(zhù)降低了鉛含量。這項目的的成功促使了本次的深入廣泛的合作。
除壓電微電解系統MEMS外，新加坡的技術(shù)研發(fā)重點(diǎn)領(lǐng)域還包括異構整合先進(jìn)封裝；碳化硅、氮化鎵等寬帶隙半導體；毫米波射頻等技術(shù)；平面光學(xué)元件、光子異構集成等先進(jìn)光子技術(shù)。這些重點(diǎn)領(lǐng)域已列入新加坡科技研究創(chuàng )新與企業(yè)2025規劃（RIE 2025），旨在促進(jìn)新加坡發(fā)展成為創(chuàng )新驅動(dòng)的經(jīng)濟社會(huì )。
廠(chǎng)內實(shí)驗室是新加坡半導體生態(tài)系統的重要參與者，致力于促進(jìn)與傳感器和執行器公司、制造企業(yè)及其供應商的合作，基于廠(chǎng)內實(shí)驗室的先進(jìn)材料和器件平臺，為國內外高等院校提供多項目晶圓流片服務(wù)，同時(shí)還提供大學(xué)生實(shí)習和博士生研究機會(huì )，以擴大本地和全球壓電 MEMS人才儲備。
作為全球領(lǐng)先的MEMS供應商，二十多年來(lái)，意法半導體在 MEMS 市場(chǎng)中占據著(zhù)舉足輕重的地位，利用自身的垂直整合制造(IDM) 業(yè)務(wù)模式，為客戶(hù)提供芯片設計制造一條龍服務(wù)。
意法半導體是首批在新加坡投資建廠(chǎng)的半導體公司，而廠(chǎng)內實(shí)驗室則是意法半導體宏茂橋園區的一項重要資產(chǎn)，完善了園區當前的大規模制造業(yè)務(wù)，并為新加坡半導體制造生態(tài)系統的發(fā)展做出了貢獻。
主要利益相關(guān)者的評價(jià)
David Horsley教授（Northeastern University電氣與計算機工程系教授）：
“廠(chǎng)內實(shí)驗室模式解決了業(yè)界通常面對的應力控制與蝕刻等常見(jiàn)問(wèn)題，這樣，研究人員就能夠專(zhuān)注于自己的工作，而無(wú)需做重復性的無(wú)用功?！?/p>
Fang Weileun教授（National Tsing Hua University 講座教授）：
“廠(chǎng)內實(shí)驗室讓學(xué)術(shù)團體甚至初創(chuàng )企業(yè)能夠開(kāi)發(fā)自己的芯片，并且更容易實(shí)現量產(chǎn)?！?/p>
Lu Yipeng副教授（北京大學(xué)集成電路學(xué)院副教授）：
“廠(chǎng)內實(shí)驗室項目對壓電微電機MEMS技術(shù)的發(fā)展影響很大，公私科研合作讓我們能夠取得單靠自身力量無(wú)法實(shí)現的突破。我們很榮幸加入這個(gè)創(chuàng )新的生態(tài)系統?！?/p>
Shuji Tanaka教授（Tohoku University機器人系教授）：
“在開(kāi)發(fā)過(guò)程中擁有更大的自由度，研發(fā)周期也更短?！?/p>
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