產(chǎn)品特性：

• 采用先進(jìn)的微電子和微機械加工相結合的工藝技術(shù)
• 產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS

應用范圍：

• 帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

國機集團所屬沈陽(yáng)儀表院承擔的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過(guò)驗收。

該項目采用先進(jìn)的微電子和微機械加工相結合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結構等方面具有創(chuàng )新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開(kāi)發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達到國內領(lǐng)先、國際一流。

項目建成了年生產(chǎn)能力一萬(wàn)臺的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線(xiàn)，實(shí)現了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并首次實(shí)現智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國產(chǎn)化配套，打破了國外的技術(shù)封鎖，填補了國內空白。同時(shí)，作為上游核心器件，該項研究帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，解決了有表無(wú)芯的問(wèn)題，有效地支撐了高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設。