【導讀】近日,中國科學(xué)院微電子研究所賈銳研究員帶領(lǐng)的高效太陽(yáng)能電池研究團隊成功研制出國內首款異質(zhì)結背接觸原型太陽(yáng)能電池(2cm×2cm),基于n型4英寸晶圓(p型襯底采用了不同的技術(shù)方案),通過(guò)傳統電池工藝如絲網(wǎng)印刷、PECVD沉積,并在必要步驟采用微電子光刻工藝輔助完成的。
異質(zhì)結背接觸(HIT-IBC)電池作為高端高效太陽(yáng)能電池的一種,是國際上的研究熱點(diǎn),也是未來(lái)太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)化的重要組成部分。目前國際上相關(guān)研究及 產(chǎn)業(yè)化工作進(jìn)展迅速,除了歐洲外,韓國、日本等已于近兩年啟動(dòng)了該款電池的研究計劃,在大投入和產(chǎn)業(yè)界的助推下,進(jìn)展十分迅速。
近日,中國科學(xué)院微電子研究所賈銳研究員帶領(lǐng)的高效太陽(yáng)能電池研究團隊成功研制出國內首款異質(zhì)結背接觸原型太陽(yáng)能電池(2cm×2cm)。
微電子研究所高效太陽(yáng)能電池研究團隊利用先進(jìn)的半導體工藝制造設備,以及自身設備研制開(kāi)發(fā)的能力,在高效插指背結背接觸電池 (Intergitated Back Contact Solar Cells, IBC)研究領(lǐng)域進(jìn)行了深入的科研探索,有著(zhù)深厚的積累。該團隊運用自行研制的漿料形成均勻發(fā)射極,成功研制出高效IBC電池,在此基礎上適時(shí)地推出了異質(zhì)結背接觸電池研究計劃,該類(lèi)電池充分結合了異質(zhì)結電池高開(kāi)路電壓和背接觸電池高短路電流實(shí)現優(yōu)勢互補,從而大幅提高晶體硅電池的效率。
此次研制成功的第一款異質(zhì)結背接觸電池是基于n型4英寸晶圓(p型襯底采用了不同的技術(shù)方案),通過(guò)傳統電池工藝如絲網(wǎng)印刷、PECVD沉積,并在必要步驟采用微電子光刻工藝輔助完成的。在異質(zhì)結制備工藝中,采用了新型的鈍化方式和異質(zhì)結制備工藝,形成了自己的研究特色,為后繼的產(chǎn)業(yè)化奠定了良好的基礎。
目前,該研究團隊將新型鈍化和異質(zhì)結形成技術(shù)已應用在n型襯底上,由于異質(zhì)結的高開(kāi)壓特性,使其得到的新型電池開(kāi)路電壓達到了658mV,明顯大于常規晶體硅電池的開(kāi)路電壓,同時(shí)還開(kāi)發(fā)出了p型襯底電池工藝,這為我國異質(zhì)結背接觸原型太陽(yáng)能電池的研究奠定了良好的基礎。

圖1:異質(zhì)結背接觸太陽(yáng)電池的實(shí)物照片

圖2:異質(zhì)結背接觸太陽(yáng)電池的截面結構圖