圖1：ASMI 中國業(yè)務(wù)開(kāi)發(fā)總監徐來(lái)
事實(shí)上，在全球半導體設備行業(yè)中有兩家名稱(chēng)中含有 ASM 的著(zhù)名設備供應商，分別是 ASMI 和 ASM PT，目前均為上市公司。這兩家公司由同一創(chuàng )始人成立，ASMI 和 ASMPT 目前是獨立運營(yíng)的，ASMI 主攻前段工序，ASMPT 主攻后段工序。兩者唯一的關(guān)系在于 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者，前者持有后者 25% 的股份。
ASMI 于 1968 年在荷蘭成立，是全球前十大設備供應商之一。目前，ASMI 在全球 7 個(gè)國家設有研發(fā)中心和生產(chǎn)基地，擁有 1900 名員工。而 ASMI 中國總部位于上海，并在全國各地設有服務(wù)和支持的地點(diǎn)，還有面向先進(jìn)技術(shù)研發(fā)的本地工藝工程支持。同時(shí)，公司也在本地存儲零部件以保證能快速服務(wù)客戶(hù)的需求。
擁有自己的工藝集成中心
據徐來(lái)介紹，ASMI 最大的優(yōu)勢就是 ALD 工藝，同時(shí) ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設備供應商。據公開(kāi)資料顯示，ALD 設備是先進(jìn)集成電路制造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設備，ALD 工藝具有工藝溫度低、薄膜厚度控制精確及臺階覆蓋率高等優(yōu)點(diǎn)。
目前，ASMI 和許多中國芯片制造商合作，并已安裝了諸多設備，從低于 200mm 到 300mm 制造。面向的應用有邏輯/代工廠(chǎng)、存儲和模擬制造還有晶圓市場(chǎng)。在中國已用于生產(chǎn)的平臺有原子層沉積（ALD）、增強等離子體化學(xué)氣象沉積（PECVD）、立式爐（Vertical Furnace）、外延設備（Epitaxy）。
據悉，ASMI 不僅在韓國，日本和美國設有研發(fā)中心，在比利時(shí)和芬蘭也分別設有研發(fā)中心。
同時(shí)，徐來(lái)表示，"我們與其他設備廠(chǎng)最大的差異在于：ASMI有自己的工藝集成中心（比利時(shí)）。當我們在做先進(jìn)制程研究時(shí)會(huì )發(fā)現一些應用，發(fā)現應用之后便有了對相關(guān)材料的需求，然后反饋給我們在芬蘭的材料研究中心，研究出相應的材料支持工藝。最后，反饋給事業(yè)部來(lái)根據要求制造設備、提供給客戶(hù)，再根據客戶(hù)需求更新設備。"
看好未來(lái)中國市場(chǎng)的增長(cháng)
根據 SEMI（國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì )）于 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠(chǎng)預測報告"最新內容中指出，2019 年全球晶圓廠(chǎng)設備支出將增加 5%，連續第四年呈現大幅成長(cháng)。除非原有計劃大幅變更，中國大陸將是 2018、2019 年全球晶圓廠(chǎng)設備支出成長(cháng)的主要推手。
圖2：全球晶圓廠(chǎng)設備支出預測
SEMI 預測，2018 和 2019 年全球晶圓廠(chǎng)設備支出將以三星居冠，但投資金額都不及 2017 年的高點(diǎn)。相較之下，為支持跨國與本土的晶圓廠(chǎng)計劃，2018 年中國大陸的晶圓廠(chǎng)設備支出較前一年將大幅增加 57%，2019 年更高達 60%。 中國大陸設備支出金額預計于 2019 年超越韓國，成為全球支出最高的地區。
"正是因為看到中國市場(chǎng)強勁的增長(cháng)表現，ASMI 從去年開(kāi)始做了很多改變，加強了市場(chǎng)拓展和客戶(hù)服務(wù)。"徐來(lái)表示，"實(shí)際上，ASMI 進(jìn)入中國已經(jīng) 20 年，目前為止在中國的裝機容量約為 200 臺，涵蓋了中國所有的客戶(hù)?，F在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶(hù)增加，所以相應的團隊也要不停的擴充。"
徐來(lái)認為，"ASMI 已經(jīng)在全球得到很多認可，是英特爾和臺積電的最佳供應商。未來(lái)隨著(zhù)中國業(yè)務(wù)的增加，相信我們在中國也會(huì )得到更多的國內客戶(hù)的認可。"
