DAS Environmental Expert公司通過(guò)在工藝腔室的沉積過(guò)程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統，確保當涉及太陽(yáng)能模塊制造業(yè)在批量生產(chǎn)時(shí)，生產(chǎn)設備維持長(cháng)時(shí)間的正常運行并滿(mǎn)足最佳的沉積質(zhì)量的需要。由于a-Si/μc-Si CVD生產(chǎn)設備使用大量的SiH4、H2、NF3和TMB、PH3作為摻雜氣體，但這些工藝氣體都是自燃、易爆或者危害環(huán)境的。因此，DAS堅持工藝廢氣必須通過(guò)燃燒濕法洗滌處理，并利用靜電除塵裝置進(jìn)行粉塵清除。

 

DAS同樣為中國最大的薄膜太陽(yáng)能ThinFab客戶(hù)提供以上的解決方案。Oerlikon (現稱(chēng)TEL) KAI采用了DAS的UPTIMUM廢氣處理系統，該系統還可通過(guò)智能軟件控制管理提供設備之間的備份，同時(shí)添加了EDC (靜電除塵裝置) 系統來(lái)收集處理廢氣中出現粉塵。DAS對廢氣處理裝置的效率進(jìn)行了超過(guò)1周的測量，結果表明其在去除效率 (DRE) 方面性能卓越。得益于強大密集的現場(chǎng)服務(wù)支持，使得DAS設備的性能提升了600%，將平均維護間隔時(shí)間延長(cháng)到6個(gè)月以上。這再一次證明了DAS的廢氣處理系統可以順利匹配工藝生產(chǎn)設備的維護周期。

 

DAS在中國薄膜太陽(yáng)能行業(yè)有著(zhù)的杰出表現。這項項目運行期間，DAS一如既往的提供迅速的響應反映時(shí)間和強大的現場(chǎng)服務(wù)支持。 該客戶(hù)項目負責人說(shuō):“廢氣處理系統超長(cháng)的正常運行時(shí)間和>99%的除塵效率，幫助我們達成了制造流程中的質(zhì)量和安全目標。”

 

廢氣處理系統UPTIMUM采用了燃燒/濕洗技術(shù)，針對不同行業(yè)內的CVD工藝生產(chǎn)設備進(jìn)行優(yōu)化，最多支持六個(gè)獨立進(jìn)氣口。該系統可使用多種助燃氣體和提供處理酸堿的不同濕洗方法。

 

EDC PLUS是一款靜電除塵裝置，用于處理諸如太陽(yáng)能電池或平板顯示器制造等行業(yè)產(chǎn)生的含有細小粉塵或氣霧的廢氣，處理量可達270 m3/h。除塵裝置可以顯著(zhù)減少細小粉塵排放，其微粒去除效率甚至可達99.9%，能有效防止排氣系統堵塞。