【導讀】壓電致動(dòng)器是一種利用反向壓電效應通過(guò)施加電壓產(chǎn)生位移的元件，可以為熟悉的電磁設備（如電機和螺線(xiàn)管）提供替代方案。它們具有更高的可靠性、更低的功耗、更小的尺寸和更高的位置分辨率等優(yōu)點(diǎn)。
壓電致動(dòng)器是一種利用反向壓電效應通過(guò)施加電壓產(chǎn)生位移的元件，可以為熟悉的電磁設備（如電機和螺線(xiàn)管）提供替代方案。它們具有更高的可靠性、更低的功耗、更小的尺寸和更高的位置分辨率等優(yōu)點(diǎn)。
壓電效應
居里（Curie）兄弟在 19 世紀末演示了直接壓電效應，表明對石英等天然晶體材料施加應力能夠產(chǎn)生電荷（參見(jiàn)圖 1a）。當然還有一個(gè)相反的效果：向具有壓電特性的材料施加電場(chǎng)會(huì )導致物理變形（參見(jiàn)圖 1b），從而導致幾微米的位移。
圖 1a 和 1b：正壓電效應和反向壓電效應。
自居里夫婦的研究以來(lái)，已經(jīng)開(kāi)發(fā)出各種合成式壓電材料或鐵電陶瓷，這些通常具有比天然材料高得多的壓電常數。經(jīng)燒結之后，晶體結構內的偶極子為隨機取向，在施加強電場(chǎng)后偶極子得到極化。即便去除強電場(chǎng)，仍有殘存極化效應存在，從而使這些陶瓷材料具有壓電特性。
在這些合成材料中，PZT 或鋯鈦酸鉛 (Pb (Zr, Ti) O3) 具有高靈敏度和高工作溫度，可用于一些實(shí)際應用。它的直接壓電特性可用于壓力、振動(dòng)、加速度和沖擊傳感器，以及超聲波接收器和診斷設備、聲納儀器、探魚(yú)器、無(wú)損檢測設備和麥克風(fēng)等設備。
另一方面，也可以利用反向壓電效應來(lái)控制晶體尺寸，能夠創(chuàng )建諸如精密工業(yè)定位平臺、閥門(mén)、用于變焦和自動(dòng)對焦的相機鏡頭馬達、超聲波源和揚聲器等致動(dòng)器。
壓電致動(dòng)器類(lèi)型和結構
通過(guò)在縱向或橫向施加電壓以產(chǎn)生不同方向位移，可以構建各種類(lèi)型的致動(dòng)器以產(chǎn)生不同類(lèi)型的運動(dòng)。圖 2 比較了縱向、橫向和堆疊縱向元件，其中顯示了位移方向，以及產(chǎn)生彎曲位移的雙壓電晶片橫向元件。
圖 2：壓電致動(dòng)器的結構類(lèi)型。
縱向效應型由于電極間距較長(cháng)，需要較大的電壓才能獲得相應位移。橫向效應型因為電極間距比縱向效應型短，所以可降低電壓，但位移量較小，因為所用的是垂直于極化方向的位移。層疊型電極間距短，利用極化方向的位移，因此可以用低電壓獲得位移，但存在必須堆疊每個(gè)壓電陶瓷的不便。此外，雙壓電晶片型可以在低電壓下獲得較大位移，但由于它利用彎曲方向的位移，不能獲得大的生成力，并且在重復驅動(dòng)的耐久性方面存在局限。
整體燒制的多層壓電致動(dòng)器通過(guò)縮小電極之間的空間來(lái)克服這些問(wèn)題，從而在足夠低的電壓下實(shí)現大位移，以利于實(shí)際應用。
壓電致動(dòng)器特性
與可用于產(chǎn)生精確控制運動(dòng)的小型馬達或螺線(xiàn)管等電磁致動(dòng)器相比，壓電致動(dòng)器具有許多優(yōu)勢。首先，它響應時(shí)間非常短。此外，壓電致動(dòng)器不會(huì )產(chǎn)生電磁噪聲，可以簡(jiǎn)化系統設計，消除材料清單中的屏蔽和濾波組件，并可使 EMC 合規性測試更加容易。由于產(chǎn)生的熱量較少，熱管理也可以因此大大簡(jiǎn)化。壓電致動(dòng)器的緊湊性和重量輕也是其進(jìn)一步的優(yōu)勢，能夠以高分辨率進(jìn)行精確控制。表1比較了使用電磁和壓電致動(dòng)器進(jìn)行設計時(shí)應考慮的關(guān)鍵因素。
表 1：電磁和壓電致動(dòng)器的比較。
多層壓電致動(dòng)器
盡管多層壓電致動(dòng)器通常都具有出色的特性，但在進(jìn)行設計時(shí)仍建議小心謹慎。重復驅動(dòng)會(huì )導致元件斷裂，因為正負內部電極之間的非活性絕緣區域與活性區域相對膨脹和收縮不同，從而引入機械應力。 “全電極”式致動(dòng)器能夠更好地承受重復致動(dòng)，通過(guò)將電極擴展到每個(gè)板的全部寬度，并在電極之間引入玻璃絕緣體（參見(jiàn)圖 3），消除了非活性區域，從而防止了由于膨脹不同引起的應力。
圖 3：帶有玻璃絕緣體的全電極堆疊式多層結構。
此外，高濕度等環(huán)境挑戰會(huì )縮短致動(dòng)器的使用壽命。密封性能好的致動(dòng)器可以在暴露于嚴苛應用環(huán)境下，并能夠提供高可靠性，其中可能包含包裝在完全密封金屬外殼中的高位移壓電材料（參見(jiàn)圖 4）。外殼有一個(gè)預加載的波紋管結構，可以伴隨元件膨脹和收縮，并且具有一個(gè)金屬法蘭來(lái)簡(jiǎn)化安裝。
圖 4：密封多層壓電致動(dòng)器。
應用
壓電元件的尺寸變化可用于產(chǎn)生線(xiàn)性位移，以實(shí)現操作泵、閥門(mén)和精密定位控制機構等各種應用效果。圖 5 展示了安裝在三個(gè)軸上的壓電致動(dòng)器如何控制精密檢測儀器中 x-y 載物臺位置以及鏡頭聚焦的工作原理。
圖 5：自動(dòng)檢測設備中的精確定位。
圖 6 顯示了壓電致動(dòng)器如何控制粘合劑分配，并確保適用于智能手機等產(chǎn)品高速組裝的精確計量。
圖 6：使用壓電致動(dòng)器的精密高速粘合劑分配。
樹(shù)脂涂層環(huán)形致動(dòng)器適用于定位應用，例如可微調高精度法布里-珀羅（Fabry-Perot）諧振器中的激光波長(cháng)和相位，用于干涉測量等應用（圖 7）?？刂茐弘娭聞?dòng)器的膨脹和收縮可以改變激光的波長(cháng)。
圖 7：法布里-珀羅干涉儀中的環(huán)形壓電致動(dòng)器。
圖 8 顯示了如何在質(zhì)量流量控制器中利用致動(dòng)器長(cháng)度的變化。對于半導體制造中使用的成膜和蝕刻設備，這些致動(dòng)器在此類(lèi)質(zhì)量流量控制器中可提供超精確的氣體流量控制。
圖 8：質(zhì)量流量控制器中的壓電致動(dòng)器。
提高性能和可靠性
由于具有最少量的活動(dòng)部件，并采用了多層全電極結構等特性，壓電致動(dòng)器可提供比機電致動(dòng)器等其它技術(shù)更優(yōu)的固有可靠性?xún)?yōu)勢。為了最大限度地提高其可靠性和性能，用戶(hù)可以考慮一些簡(jiǎn)單的設計指南。在設計固定時(shí)，要防止致動(dòng)器彎曲、扭曲或受到拉力。根據經(jīng)驗，對于能夠產(chǎn)生 800N 力（抗壓性）的致動(dòng)器，任何扭轉力都應小于 3 × 10-1 N·m，拉伸力應限制在 50N 或以下。致動(dòng)器的安裝應使產(chǎn)生位移的中心軸與負載的中心軸對齊。
關(guān)于致動(dòng)器的驅動(dòng)，位移量與所施加的電壓大致成比例，需要一個(gè)控制器來(lái)生成所需的電壓模式，并通過(guò)一個(gè)能夠產(chǎn)生所需驅動(dòng)電壓的放大器來(lái)驅動(dòng)致動(dòng)器。在高精度定位應用中，閉環(huán)反饋可以增強對位移的控制。不應施加反向電壓。
設計驅動(dòng)電路時(shí)應考慮滯后（hysteresis）、振鈴（ringing）、爬電（creep）和其他類(lèi)似現象。為防止可能使致動(dòng)器損壞的強烈振鈴，施加電壓的上升或下降應限制在致動(dòng)器元件諧振頻率的 1/3 以下。
壓電致動(dòng)器的致動(dòng)類(lèi)似于將電荷注入到相對較大的電容器中。為了實(shí)現致動(dòng)器的高速響應，需要較大電流。對于脈沖驅動(dòng)，驅動(dòng)器設計應考慮自發(fā)熱、充電/放電電流和電源阻抗等因素。
結論
壓電致動(dòng)器能夠實(shí)現簡(jiǎn)單而精確的運動(dòng)控制，可為工業(yè)、醫療和消費等應用帶來(lái)低功耗、低噪音和緊湊尺寸等優(yōu)勢。 多層全電極堆疊致動(dòng)器相對于施加的電壓能夠產(chǎn)生較大位移，并且能夠很好地免受重復致動(dòng)應力影響。
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