近日,瑞典 Ionautics 公司宣布其全新研發(fā)的 HiPSTER 25 緊湊型高性能高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)脈沖電源成功完成首次運行。Ionautics 成立于 2010 年,長(cháng)期深耕于電離物理氣相沉積領(lǐng)域, HiPSTER 25提供高達 25kW 功率,不僅重新定義了行業(yè)高效運行模式,還極大提升了性能與能量效率。其采用的碳化硅(SiC)晶體管成為一大亮點(diǎn)。SiC 作為新型半導體材料,具備耐高溫、高頻率特性以及卓越導電性能。相較于傳統硅基材料,它能夠承受更高工作溫度,擁有更快開(kāi)關(guān)速度,這大幅提升了能量效率與工藝穩定性,有效減少了能量損失和熱管理難題,提供靈活且穩定的鍍膜過(guò)程,有力確保了鍍膜質(zhì)量的一致性 。
HiPSTER 25 雙極模式
HiPSTER 25搭載的雙極HiPIMS技術(shù),無(wú)需基底偏壓即可實(shí)現離子加速,簡(jiǎn)化工藝步驟,提升鍍膜質(zhì)量與均勻性。通過(guò)精確調控離子能量和方向,它能在各類(lèi)基材上形成光滑致密的涂層,顯著(zhù)增強產(chǎn)品耐磨性、耐腐蝕性和光學(xué)性能。此外,該設備集成豐富的工藝參數調整選項,用戶(hù)可按需精細調節氣體流量、放電電壓和脈沖頻率等,無(wú)論是硬質(zhì)涂層、光學(xué)鍍膜還是電氣涂層,都能實(shí)現良好效果。其外部觸發(fā)多個(gè)電源的功能,更為復雜的多層鍍膜和復合結構鍍膜創(chuàng )造了可能。
新型開(kāi)關(guān)技術(shù)的應用,讓 HiPSTER 25的HiPIMS脈沖頻率達到150kHz,高頻脈沖不僅提升鍍膜效率,還能促進(jìn)薄膜均勻致密沉積,尤其在處理復雜三維結構時(shí)優(yōu)勢顯著(zhù)。增強的脈沖控制功能,可精準調節脈沖形狀、寬度和能量分布,成為研發(fā)新型材料和優(yōu)化現有工藝的得力工具。
HiPSTER 25 優(yōu)勢
為進(jìn)一步保障鍍膜質(zhì)量,HiPSTER 25集成了Ionautics的反應過(guò)程控制系統。該系統實(shí)時(shí)監測和調節鍍膜化學(xué)反應,精確控制鍍膜成分與結構,減少缺陷和雜質(zhì),提升鍍膜穩定性和沉積率。經(jīng)過(guò)廣泛測試和優(yōu)化,HiPSTER 25在反應式 HiPIMS 及其他各類(lèi)磁控管工藝中均表現優(yōu)異。
從具體性能參數來(lái)看,HiPSTER 25輸出平均功率小于 25KW,支持電壓、電流、功率等多種調節模式,脈沖電流電弧控制反應時(shí)間小于2μs;輸入電壓靈活適配100-240VAC,支持RS 232、RS 485等多種遠程通信方式。無(wú)論是單極模式下的高電壓大電流輸出,還是可選的雙極模式和脈沖模式直流,都能滿(mǎn)足多樣化的工藝需求。
廣泛應用范圍
HiPSTER 25的應用場(chǎng)景廣泛。在擴散屏障和電氣涂層制備中,它能增加涂層密度,提升擴散屏障阻隔性能,防止材料相互滲透;通過(guò)優(yōu)化涂層厚度和熱負荷,提高導電材料導電性與絕緣體隔離效果,為電子封裝和電力傳輸提供高效方案。在航空航天、醫療器械和汽車(chē)制造等對三維涂層要求嚴苛的行業(yè),HiPSTER 25憑借出色的鍍膜均勻性,可在復雜形狀基材上實(shí)現薄膜均勻覆蓋,助力高端制造升級。
瑞典Ionautics以推動(dòng)行業(yè)進(jìn)步為使命,未來(lái),我們將繼續深耕HiPIMS技術(shù)領(lǐng)域,以HiPSTER 25為新起點(diǎn),持續優(yōu)化產(chǎn)品性能,拓展應用邊界。同時(shí),我們希望通過(guò)HiPSTER 25搭建與全球客戶(hù)緊密合作的橋梁,共同探索離子鍍膜技術(shù)。