瑞典Ionautics lonMeter：精準監測電離分數與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與涂層質(zhì)量雙重提升

在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域，精確監測沉積通量和電離分數對于優(yōu)化工藝參數和涂層質(zhì)量至關(guān)重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰提供了創(chuàng )新的解決方案。lonMeter基于成熟的石英晶體微天平（QCM）技術(shù)，不僅實(shí)現了實(shí)時(shí)監測，還通過(guò)一系列獨特設計，提升了電離分數監測的準確性和可靠性。

　　關(guān)于lonMeter

　　lonMeter憑借其獨特的傳感器設計，能夠精確量化沉積通量中的電離分數，這對于深入理解電離機制及優(yōu)化電離參數至關(guān)重要。在加工過(guò)程中，它提供實(shí)時(shí)現場(chǎng)測量功能，使研究人員能夠即時(shí)調整工藝參數以確保產(chǎn)品質(zhì)量。為了確保電離分數監測的準確性，lonMeter還配備了高效的磁屏蔽裝置，這一設計不僅有效避免了等離子體電子對診斷過(guò)程的干擾，同時(shí)確保了離子和中性物質(zhì)的順利傳輸，從而提供了更加準確和可靠的電離分數數據。與傳統的使用網(wǎng)格的解決方案相比，lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方面表現出色，且專(zhuān)注于成膜材料的監測，排除了雜質(zhì)干擾，使得數據更加可靠。lonMeter的應用范圍廣泛，涵蓋了電離物理氣相沉積（IPVD）工藝的多個(gè)方面：

　　●  電離通量分數優(yōu)化：

　　通過(guò)實(shí)時(shí)監測電離過(guò)程中的關(guān)鍵參數，lonMeter能夠幫助用戶(hù)優(yōu)化電離通量分數，提高工藝的穩定性和效率。

　　●  過(guò)程穩定性提升

　　lonMeter能夠監測電離過(guò)程中的漂移，及時(shí)采取措施進(jìn)行緩解，從而確保涂層質(zhì)量的一致性和可靠性。

　　●  涂層參數調整

　　通過(guò)調整電離參數，用戶(hù)可以利用lonMeter靈活調整涂層的應力、硬度和電導率等關(guān)鍵性能，以滿(mǎn)足不同應用場(chǎng)景的需求。

　　應用優(yōu)化策略于多個(gè)領(lǐng)域：

　　1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分數的優(yōu)化工藝

　　2.通過(guò)監測和緩解電離過(guò)程中的漂移來(lái)實(shí)現過(guò)程穩定

　　3.通過(guò)監測和控制電離來(lái)調整涂層參數，如應力、硬度和電導率

　　4.通過(guò)空間映射電離和沉積來(lái)優(yōu)化沉積系統設計

　　5.系統設計優(yōu)化，希望它均勻分布在空間中

　　6.在加工過(guò)程中現場(chǎng)優(yōu)化 PVD 源和磁體組設計

　　IonMeter產(chǎn)品規格

　　石英振蕩器類(lèi)型: 6 MHz

　　頻率分辨率: ± 0.01 Hz，10次讀數/秒

　　頻率穩定度: 總計± 2 ppm，0°至 50°C 范圍內

　　水晶兌換: 前裝式獨立包裝，方便更換

　　通訊接口: USB

　　輸入電壓：USBC

　　環(huán)境規格：

　　無(wú)水冷時(shí)最高工作溫度：130°C

　　最小水冷流量時(shí)最高工作溫度：400°C

　　規范：CE 認證

　　尺寸和安裝

　　傳感器尺寸：待定

　　安裝：40CF（法蘭），1xBNC-Microdot和2x水

　　為何選擇lonMeter？

　　lonMeter不僅能夠輔助優(yōu)化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分數，穩定工藝過(guò)程；還能夠通過(guò)監測和控制電離來(lái)調整涂層參數，滿(mǎn)足多樣化需求；同時(shí)，通過(guò)繪制電離和沉積的空間分布圖，lonMeter還能夠輔助沉積系統布局、PVD源和磁鐵組的優(yōu)化設計，提高沉積效率和涂層質(zhì)量，為研究人員提供了便利。

　　lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創(chuàng )新解決方案，憑借其基于石英晶體微天平（QCM）技術(shù)的獨特設計和高效磁屏蔽裝置，在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(lǐng)域展現出了卓越的性能。它不僅實(shí)現了對沉積通量和電離分數的精確監測，還通過(guò)實(shí)時(shí)監測和現場(chǎng)優(yōu)化策略，顯著(zhù)提升了工藝參數的優(yōu)化能力和涂層質(zhì)量的穩定性。無(wú)論是在電離通量分數的優(yōu)化、過(guò)程穩定性的提升，還是在涂層參數的調整、沉積系統設計的優(yōu)化以及沉積過(guò)程中的現場(chǎng)優(yōu)化方面，lonMeter都展現出了其優(yōu)勢。對于致力于提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言，選擇lonMeter它將為您的研究和生產(chǎn)工作帶來(lái)便利和效益。